名稱:銅材料用表面處理液、銅材料的表面處理方法、帶表面處理被膜的銅材料和層合構件
公開(公告)號:CN101400826
公開(公告)日:2009.04.01
主分類號:C23C22/34(2006.01)I
申請(專利權)人:日本帕卡瀨精株式會社
地址:日本東京都
發明(設計)人:宮崎雅矢;林洋樹;村上邦佳
國際申請:2007-03-15PCT/JP2007/055255
國際公布:2007-09-20WO2007/105800日
進入國家日期:2008.09.12
專利代理機構:中國專利代理(香港)有限公司
代理人:熊玉蘭;李平英
摘要
提供銅材料用表面處理液、表面處理方法、及采用該方法在銅材料表面形成的表面處理被膜。銅材料用表面處理液,其特征在于,含有:銅的氧化蝕刻劑、包含選自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一種金屬元素的化合物和作為HF供給源的含氟化合物;表面處理方法,其特征在于,將銅和銅合金原材料浸漬到上述處理液中;表面處理被膜,其特征在于,所述被膜是采用上述表面處理方法在銅及銅合金上形成的,含有選自Ti、Zr、Hf及Si中的至少一種金屬元素、Cu、O和F;層合構件,其特征在于,含有表面處理被膜的銅原材料和樹脂層介由表面處理被膜相接合。